사업소개
설비 SET-UP
고객사 SEMES CLEAN SUPER CRYSTAL 외 다수
High technology
- First equipment of supercritical in the world
- High pressure & temperature control system
- Cleaning & dry fusion platform
Process performance
- Leaning free technology
(high extraction / high solubility) - High throughput and stability
- High grade process (19nm particle removal)
고객사 SEMES SET-UP 제품군
- CLEAN (IRIS,IRIS PRIME,BLUEICE SPM,LOUTS)
- PACKAGE (BONDER)
- MIXXING
당사는 반도체 CLEAN 설비 SET_UP 및 유지보수 업무를 주 사업으로 운영되고 있으며,
우수한 인력들을 채용 및 교육진행을 통한 현장 투입및 대응 능력개발을 진행,
업무진행에 있어서 최대한 고객의 요구를 충족시킬 수 있도록 최선을 다 하고 있습니다.
설비 C/S (유지보수)
고객사 SEMES CLEAN IRIS PRIME외 다수
CLEAN IRIS PRIME
Process performance
- High grade process (26nm particle removal)
Productivity / Hardware
- Contamination free clean by NIC Bowl
- New S2-aerosol : High velocity/uniformity droplet
- Smart system : APAC (Auto Flow Control)
- AIS (Auto Inspection System)
- SEAS (Smart Equipment Analysis System)
- Energy Efficiency Rating : Class 1
- 풍부한 경험과 기술력을 바탕으로 대상 설비 유지보수 업무진행
고객사 SEMES C/S 제품군
- CLEAN (IRIS,IRIS PRIME,BLUEICE SPM,LOUTS)
- PACKAGE (BONDER)
설비 제조
고객사 SEMES CLEAN BLUELCE SPM외 다수
CELAN BLUEICE SPM
Process performance
- High temperature SPM process over 150℃
- PR strip, post CMP clean, metal clean and etc.
Productivity/Hardware
- Contamination free clean by IC bowl
- H2SO4 recycle system
- Energy efficiency rating : Class 1
- SEMES 본사내 제조 및 SET-UP, 검수 진행
고객사 SEMES 본사 제조 제품군
- CLEAN (IRIS,IRIS PRIME,BLUEICE SPM,LOUTS)